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작성일 21-07-11 23:38
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日 기업들 자구책…中서 에칭 가스 생산·韓서 레지스트 증산 검토
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이낙연 총리 "日, 포토 레지스트 韓 수출 허가" 확인
수출규제 영향, 日기업 자구책 고민…中서 에칭가스 생산 등 검토
韓 배제땐 日기업 고사 역풍… 반도체 생태계 공멸 위기감
일본, 삼성 중국 시안 반도체 공장에 에칭가스 수출허가
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STI는 비율맞춰 파줄 필요 없이 에칭 후 약간의 Oxidation 이후 나머지 파낸 부분을 CVD로 Deposition 해서 채우는 방식입니다!! 중요한 ...
