반도체 공정개론 해답 2판 Rich-ard C. Jaeger
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작성일 20-09-28 10:54
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반도체 공정개론 해답 2판 Rich-ard C. Jaeger
제1장 미소전자 제조 공정 ...15
제2장 리소그래피 ...31
제3장 실리콘 산화막 ...57
제4장 확산 ...85
제5장 이온 주입법 ...131
제6장 박막 증착 ...155
제7장 상호접속과 접촉 ...181
제8장 패키징 및 수율 ...209
제9장 MOS 공정 집적화 ...235
제10장 양극 공정 집적화 ...273
제11장 MEMS 공정 ...313
미소전자소자 제조의 기초가 되는 개개의 단위 공정을 초반에 introduction한 후 후반부에 이 단위 공정들로부터 이루어진 실제적인 MOS,MEMS 등의 소자와 집적 기술을 다루었다.또한 공정마다 이론적인 내용과 함께 공정에 사용되는 실제적인 응용을 깊이있게 다루었으며, 각 장의 끝에는 읽는 사람들이 해당 내용을 쉽게 이해 할 수 있도록 돕는 문제를 수록하였다.
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다.또한 공정마다 理論(이론)적인 내용과 함께 공정에 사용되는 실제적인 응용을 깊이있게 …(To be continued )
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레포트/공학기술
미소전자소자 제조의 기초가 되는 개개의 단위 공정을 초반에 introduce한 후 후반부에 이 단위 공정들로부터 이루어진 실제적인 MOS,MEMS 등의 소자와 집적 기술을 다루었다.
미소전자소자 제조의 기초가 되는 개개의 단위 공정을 초반에 소개한 후 후반부에 이 단위 공정들로부터 이루어진 실제적인 MOS,MEMS 등의 소자와 집적 기술을 다루었다.또한 공정마다 theory(이론)적인 내용과 함께 공정에 사용되는 실제적인 응용을 깊이있게 다루었으며, 각 장의 끝에는 읽는 사람들이 해당 내용을 쉽게 이해 할 수 있도록 돕는 문제를 수록하였다.
